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壓電六軸并聯位移臺,六自由度,兼容高真空

簡要描述:Free6D.3-2.150.G2,壓電六軸并聯位移臺,六自由度,兼容高真空;控制方式:各驅動單元模塊通過光柵位置反饋實現閉環控制;通過專用軟件,實現對六軸并聯運動的解算,分配到各驅動單元模塊,實現六軸空間姿態的同時調節。

  • 產品型號:Free6D.3-2.150.G2
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-07-22
  • 訪  問  量:2268

詳細介紹

壓電·六軸并聯 Free6D.3-2.150.G2

? 多軸姿態同時調節、結構穩定、剛性高

由納米級驅動單元實現的六自由度并聯結構,有效降低累積誤差

多軸姿態同時調節、結構穩定、剛性高

平動行程:X, Y, Z ±9 mm, ±9 mm, ±5 mm

角擺行程:ΘX, ΘY, ΘZ ±10 °, ±10 °, ±20 °

最小步伐:0.1 μm/5 μrad

可提供真空環境規格

控制器:根據用戶輸?的位移指令,實現對位移臺六軸空間姿態的運動調節

控制方式:各驅動單元模塊通過光柵位置反饋實現閉環控制;通過專用軟件,實現對六軸并聯運動的解算,分配到各驅動單元模塊,實現六軸空間姿態的同時調節;

控制軟件:提供PC端使用軟件,支持labview,串口命令集控制

 

壓電六軸并聯位移臺,六自由度,兼容高真空——詳細參數:

壓電六軸并聯位移臺,六自由度,兼容高真空

壓電六軸并聯位移臺,六自由度,兼容高真空

 

壓電六軸并聯位移臺,六自由度,兼容高真空——尺寸圖

壓電六軸并聯位移臺,六自由度,兼容高真空

 

 

 

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